SiC涂层石墨基座具有耐高温、抗氧化、纯度高、和耐酸碱盐及有机试剂等特性，物理化学性能稳定。与高纯度石墨相比较，高纯石墨在400℃开始发生强烈氧化，即使温度不高，长期应用也因氧化而掉粉末，会依附工件和台面或污染使用环境，因此SiC涂层石墨基座作为一种新耗材在MOVCD设备、粉末烧结等工序上逐步代替了高纯石墨基座。

德智新材生产的SiC涂层石墨基座等产品涂层是在高温条件下，使特种气体释放出硅。硅和碳直接结合，从而将特定形状石墨基体包裹起来，形成SiC保护层，所形成的SiC牢牢的涂覆在石墨基体上，赋予石墨基体特殊的性能，从而使石墨基座表面致密，无孔隙、耐高温、抗溶蚀、抗氧化。

●     高温抗氧化：抗氧化,温度高达1600℃时抗氧化性能仍然非常好。

●     纯度高：高温氯化条件下化学气相沉积方法制得的。

●     耐冲刷：硬度高、表面致密、颗粒细。

●     抗腐蚀性：耐酸、碱、盐及有机试剂。

●     SiC表面层为β－SiC 属面心立方。

●     晶格常数α0.434mm。

●     具有高纯度和各相异性。

●     SiC涂层具有较高的热导率 80W/m·k。

●     密度在 3.15－3.20g/cm3。

●     热膨胀系数 4.8×10-6 ℃－1。

●     MOCVD设备中，GaN外延生长用的石墨基座涂层。

●     单晶硅外延生长用的石墨基座涂层，平板基座、圆形基座、立体基座。

●     单晶硅器件烧结炉用的石墨底盘涂层。

●     石墨加热器上的表面涂层(平板加热器、圆形加热器、筒形加热器等等)。

●     各种氧化物隧道窑中烧结用的石墨匣钵涂层。

●     粉末冶金连续烧结用的石墨基座涂层。